電子行業及離子注入

      電子行業-波束致、氣相沉積發熱體、電子槍、陰極等導鉬元器件;
 
     半導體離子注入技術是一種材料表面改性高新技術,在半導體材料摻雜,金屬、陶瓷、高分子聚合物等的表面改性上獲得了極為廣泛的應用,在當代制造大規模集成電路中是一種必不可少的手段。
 
      離子注入的優點是能精確控制雜質的總劑量、深度分布和面均勻性,而且是低溫工藝(可防止原來雜質的再擴散等),同時可實現自對準技術(以減小電容效應)。
 
 

 

鉬棒 鉬棒 鉬棒 鉬棒        
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
香港白小姐71期